7纳米制程
半导体器件制造
金屬氧化物半導體場效電晶體
010 µm – 1971
006 µm – 1974
003 µm – 1977
1.5 µm – 1981
001 µm – 1984
800 nm – 1987
600 nm – 1990
350 nm – 1993
250 nm – 1996
180 nm – 1999
130 nm – 2001
090 nm – 2003
065 nm – 2005
045 nm – 2007
032 nm – 2009
022 nm – 2012
014 nm – 2014
010 nm – 2016
007 nm – 2018
005 nm – 2020
003 nm – 2022
未來
002 nm ~ 2025
001 nm ~ 2027
晶體管數量
互補式金屬氧化物半導體
半导体器件（多閘極電晶體）
摩尔定律
晶體管數量
半导体
半导体产业
纳电子学
查论编
7纳米制程是半导体制造制程的一个水準。
歷史[编辑]
在2015年7月，IBM宣佈以矽鍺製程做出第一個可運作的7纳米電晶體[1][2]。台积电在2017年年中推出试验产品[3][4]，並於2018年第2季首先量產第一代7纳米晶片[5]。
第一個問世量產的7nm晶片是台積電製造的Apple A12 Bionic，用於2018年末推出的iPhone XS和iPhone XR智慧型手機[6]。2019年末發表的Apple A13 Bionic使用台積電第二代7nm制程生產，用於iPhone 11及iPhone 11 Pro。
高通Snapdragon 855和华为海思的麒麟980芯片也都采用了台积电的7纳米工艺。[7]
AMD於2019年推出采用了台积电7nm FinFET製程的RX 5700系列 GPU和Zen 2微架構 Ryzen CPU。而Intel預計2023年推出。[8]
富士通與理化學研究所共同開發的超級電腦「富岳」，採用之ARM架構處理器A64FX，也以7纳米制程生產[9]。
台積電在第三代7nm才引入極紫外光刻，而三星與Intel则计划直接量产采用極紫外光刻工艺的7nm芯片。[10]
Intel的10nm的預期性能最差也僅略輸台積電的7nm，但Intel的10nm產品在台積電量產第一代7nm量產時仍未完全量產，且產品未達預期性能（甚至未明顯超越Intel改良多年的14nm產品）；因此台積電的第一代7nm、是第一個讓Intel失去領先地位的量產製程。
台積電和三星皆將後續改善的製程命名為6奈米，於2019年量產。[11]
2020年8月台積電在官方部落格宣布，7nm製程晶片於2018年4月正式投入量產，直至2020年7月已生產出第10億顆功能完好、沒有缺陷的晶片，達成新的里程碑。
2021年4月，中芯國際在梁孟松与他的台籍团队主导下，基於現有艾司摩爾浸润式光刻（英语：Immersion lithography）DUV微影製程機台技術，开始用N+1工艺量产7纳米芯片，[12][13][14]中芯也成为继台积电[15]和三星[16]之后，全球第3家能量产7纳米制程的芯片厂。但为避免过于张扬而招致更多制裁，中芯量产7纳米芯片后秘而不宣，直至1年多后，加拿大TechInsights公司于2022年7月，经逆向工程拆解分析中芯为加拿大比特币挖矿公司MinerVa出货的MV7挖矿芯片，发现其为7纳米制程，从而证实了中芯已于1年多前量产7纳米芯片。[12][13][14]这个发现可以证明中芯国际确有利用比特币挖矿活动高峰期，为挖矿矿机业主生产ASIC矿机芯片，而研制了此工艺。[17]
2021年7月，英特爾宣布新的節點命名方式，將其節點與物理尺寸脫勾，其中該公司首次應用EUV技術的7nm FinFET製程更名為「Intel 4」，預定於2022年下半年投產、2023年出貨[18][19]。
2023年9月3日，前述TechInsights公司收到Mate 60 Pro后，对其进行拆解分析后，发现中芯国际已量产了強化版的7纳米N+2工艺，证实华为海思半導體也应用了该制程。[20]
7纳米的后继制程计划是5纳米。
以7纳米制程生產的晶片[编辑]
Apple A12 Bionic
Apple A13 Bionic
高通Snapdragon 855系列
高通Snapdragon 865系列
海思半導體麒麟980、麒麟9000S
AMD Radeon RX 5000系列 GPU
AMD Radeon RX 6000系列 GPU
AMD Zen 2微架構 Ryzen CPU
AMD Zen 3微架構 Ryzen CPU
富士通A64FX
聯發科技Helio M70 5G（MT6297）
聯發科技天璣（Dimensity）
参考文献[编辑]
^ IBM Research builds functional 7nm processor. [2018-09-18]. （原始内容存档于2018-08-23）.
^ IBM Discloses Working Version of a Much Higher-Capacity Chip - NYTimes.com. [2018-09-18]. （原始内容存档于2018-09-18）.
^ WATCH OUT INTEL AND SAMSUNG: TSMC IS GEARING UP FOR 7NM PROCESSING WITH TRIAL PRODUCTION. [2016-11-22]. （原始内容存档于2016-11-07）.
^ 存档副本. [2016-11-22]. （原始内容存档于2016-11-19）.
^ 客戶擬直奔 7 奈米製程節點，台積電積極因應需求. [2018-07-05]. （原始内容存档于2018-07-05）.
^ Apple's A12 Bionic CPU for the new iPhone XS is ahead of the industry moving to 7nm chip manufacturing tech. CNET. 2018-09-12 [2018-09-16]. （原始内容存档于2018-09-16） （英语）.
^ Snapdragon 8cx Compute Platform. [2018-12-12]. （原始内容存档于2018-12-07）.
^ 英特爾財報出爐，7奈米製程產品將於2023年問世. iThome. [2021-01-25]. （原始内容存档于2021-02-05） （中文（繁體））.
^ スーパーコンピュータ「富岳」仕様. 富士通. [2020-06-23]. （原始内容存档于2020-06-26） （日语）.
^ Samsung Starts Mass Production of Chips Using Its 7nm EUV Process Tech. anandtech. [2018-10-17]. （原始内容存档于2018-10-18） （英语）.
^ Jenny. 台積電宣佈推出 6nm 工藝：以 7nm 為基底改進， 2020 年試產. XFastest News. [2019-08-07]. （原始内容存档于2019-08-07） （中文（臺灣））.
^ 12.0 12.1 SMIC’s 7-nm chip process a wake-up call for US. July 25, 2022 [2023-10-13]. （原始内容存档于2023-11-17）.
^ 13.0 13.1 China's SMIC Beats Sanctions to Make 7nm Chips – TechInsights. July 22, 2022 [2023-10-13]. （原始内容存档于2023-09-05）.
^ 14.0 14.1 TechInsights在MinerVa挖礦機中發現中芯國際生產的7奈米晶片. iThome. [2023-08-31]. （原始内容存档于2022-12-03） （中文（繁體））.
^ 台積電 7 奈米投產 27 個月後產出第 10 億個. 2020年8月21日 [2023年10月13日]. （原始内容存档于2023年11月17日）.
^ 紧咬台积电，三星宣布正在量产7nm LPP芯片. 2018年10月19日 [2023年10月13日]. （原始内容存档于2023年11月17日）.
^ 華為Mate60「純國産晶片」背後：中芯國際代工，礦機晶片練兵成軍. 動區動趨. 2023-08-30 [2023-08-31]. （原始内容存档于2023-08-31） （中文（臺灣））.
^ cnBeta. Intel宣佈全新節點命名方式：10nm改名為Intel 7、7nm改為Intel 4. 電腦王. [2021-07-27]. （原始内容存档于2021-07-27）.
^ Andy Yang. Intel 最新 10nm 技術改名為「Intel 7」，新製程路線圖看向「埃」時代. Engadget Chinese. 2021-07-27 [2021-07-27]. （原始内容存档于2021-10-29）.
^ TechInsights Finds SMIC 7nm (N+2) in Huawei Mate 60 Pro | TechInsights. www.techinsights.com. [2023-09-06]. （原始内容存档于2023-09-06）.
外部链接[编辑]
7 nm 光刻制程（页面存档备份，存于互联网档案馆）
先前10纳米制程
半导体器件制造制程
其後5纳米制程